DEEP ULTRAVIOLET LIGHT CHEMICAL AMPLICATION TYPE POSITIVE PHOTORESIST
摘要
<p>본 발명은 심자외선 화학증폭형 양성 포토레지스트에 대해 개시하였다. 본 발명의 일 실시형태에 따른 심자외선 화학증폭형 양성 포토레지스트는 사이클로펜텐 피마르산, 디비닐에테르, 광산 발생제 및 유기용매를 포함한다. 본 발명에 따른 심자외선 화학증폭형 양성 포토레지스트는 양호한 감도와 양호한 투명성을 갖는다.</p>
