摘要 |
Изобретение относится к области информационно-измерительной техники. Он содержит два упругих, два преобразовательных, два чувствительных и инерционный элементы, причем преобразовательные и чувствительные элементы выполнены на базе пьезоэлектрических элементов, а инерционный элемент установлен между слабо нагруженными упругими, преобразовательными и чувствительными элементами по легкоходовой посадке. Пьезоэлектрический микромеханический дифференциальный акселерометр позволяет измерять ускорения в широком диапазоне их значений, надежен в эксплуатации, выполним с приемлемыми массогабаритными параметрами. |