| 摘要 |
<p>본 실시예에 따른 웨이퍼 브레이킹 보조장치는 웨이퍼 몸체의 바닥면 및 상부면에 제 1 및 제 2 테이프가 부착되며, 웨이퍼 몸체와 제 2 테이프 사이에는 브레이킹을 위한 적어도 하나 이상의 요홈이 형성된 샘플 웨이퍼; 상기 샘플 웨이퍼를 파지하는 푸쉬 스틱; 및 상기 푸쉬스틱에 파지된 샘플 웨이퍼의 제 1 테이프와 접촉하여 상기 푸쉬 스틱에 가해지는 압력에 대한 반발력을 상기 요홈 측에 가하여 샘플 웨이퍼를 브레이킹하는 브레이킹 베이스;를 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
