| 摘要 |
<p>본 발명은 유리 및 반도체 웨이퍼 및 폴리머 필름상에 미세 패턴을 형성하는목적에 사용되는 자외선 노광 정렬장치에 관한 것으로, 특히 자외선 광원으로서 260~420 nm 파장을 제공하는 고출력의 자외선 LED를 채용하여, 단순하고 친환경적인 장치를 제공할 수 있도록 한 것이다. 자외선 노광 정렬장치의 구성의 제 1 실시예는 자외선 LED(1)로부터 방사되는 평행광속을 마스크(2)로 유도하여, 상기 마스크(2)의 패턴을 감광성 기판(15)상에 1:1 비율로 전사하는 자외선 노광 정렬장치에 있어서, 자외선 LED 램프 유닛(4)과 정렬 어셈블리(6)로 구성되고 상호 유기적으로 동작하며, 상기 자외선 LED 램프 유닛(4)은 하나 또는 다수개의 자외선 LED(1)와 집광렌즈(7)와 히트싱크(5)와 자외선 LED용 전원(8)과 램프하우징(9)으로 구성되고, 자외선 LED(1)는 10와트 출력 이상인 동시에 1000 밀리와트 이상의 radiant flux를 제공하며, 자외선 LED(1)는 4개 이상의 발광 소자(10)가 직렬 또는 병렬로 집합하고 연결되어 구성되고 , 상기 집광렌즈(7)는 상기 마스크(2)의 위에 설치되고, 집광렌즈(7)의 직경 면적은 감광성 기판(15)의 표면적 보다 크면서 정렬 어셈블리(6) 위를 일정한 간격을 유지하며 상하좌우로 이동하거나 고정된다. 제 2 실시예는 자외선 LED(1)로부터 방사되는 평행광속을 마스크(2)로 유도하여, 상기 마스크(2)의 패턴을 감광성 기판(15)상에 1:1 비율로 전사하는 자외선 노광 정렬장치에 있어서, 자외선 LED 램프 유닛(4)과 정렬 어셈블리(6)로 구성되고 상호 유기적으로 동작하며, 상기 자외선 LED 램프 유닛(4)은 하나 또는 다수개의 자외선 LED(1)와 포물거울(12)과 히트싱크(5)와 자외선 LED용 전원(8)과 램프하우징(9)으로 구성되고, 자외선 LED(1)는 10와트 출력 이상인 동시에 1000 밀리와트 이상의 radiant flux를 제공하며, 자외선 LED(1)는 4개 이상의 발광 소자(10)가 직렬 또는 병렬로 집합하고 연결되어 구성되고 , 상기 포물거울(12)은 상기 마스크(2)의 위에 설치되고, 포물거울(12)의 직경 면적은 감광성 기판(15)의 표면적 보다 크면서 정렬 어셈블리(6) 위를 일정한 간격을 유지하며 상하좌우로 이동하거나 고정된다. 제 3 실시예로써, 제 1 실시예 또는 제 2 실시예는 상기 정렬 어셈블리(6)가 마스크 홀더(16)와, X-스테이지(17) 또는 Y-스테이지(18) 또는 Z-스테이지(19) 또는 회전 스테이지(20) 또는 틸트(tilt) 스테이지(21) 또는 웨이퍼 홀더(22) 또는 마이크로스코프(23)로 구성되고 테이블(25) 상에 위치한다. 제 4 실시예로써, 제 1 실시예는 상기 자외선 LED(1)에서 방사되는 자외선이 반사되어 집광렌즈(7) 쪽으로 향하도록, 상기 자외선 LED(1)와 집광렌즈(7) 사이에 거울(13)을 설치한다. 제 5 실시예로써, 제 1 실시예는 상기 자외선 LED(1)에서 방사되는 자외선이 반사되어 집광렌즈(7) 쪽으로 향하도록, 상기 자외선 LED(1)와 집광렌즈(7) 사이에 빔스플리터를 설치한다. 제 6 실시예로써, 제 1 실시예 또는 제 4 실시예 또는 제 5 실시예는 자외선 LED(1)와 집광렌즈(7) 사이에 하나 또는 다수개의 렌즈A(30)를 설치한다. [색인어] 노광, 마스크, 정렬장치, 자외선, LED, 집광렌즈, 거울, 포물거울</p> |
