| 发明名称 |
POLISHING PAD WITH CONCENTRIC OR APPROXIMATELY CONCENTRIC POLYGON GROOVE PATTERN |
| 摘要 |
<p>동심형 또는 대략 동심형의 다각형 홈 패턴을 가진 폴리싱 패드가 기술되어 있다. 동심형 또는 대략 동심형의 다각형 홈 패턴을 가진 폴리싱 패드를 제조하는 방법이 또한 기술되어 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150122258(A) |
申请公布日期 |
2015.10.30 |
| 申请号 |
KR20157029008 |
申请日期 |
2012.01.19 |
| 申请人 |
NEXPLANAR CORPORATION |
发明人 |
ALLISON WILLIAM C.;SCOTT DIANE;SIMPSON ALEXANDER WILLIAM |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/26;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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