| 摘要 |
Es wird ein Modul zur Vermessung eines Objekts vorgeschlagen, wobei das Modul zur Erzeugung eines Primärstrahls konfiguriert ist, wobei das Modul eine Scanspiegelstruktur aufweist, wobei die Scanspiegelstruktur derart zur Ablenkung des Primärstrahls konfiguriert ist, dass von dem Primärstrahl eine Scanbewegung durchgeführt wird, wobei das Modul derart konfiguriert ist, dass ein Sekundärsignal detektierbar ist, wenn, in einer Ablenkstellung der Scanspiegelstruktur, das Sekundärsignal durch Wechselwirkung des Primärstrahls mit dem Objekt erzeugt wird, wobei das Modul zur Erzeugung eines Ortungssignals in Abhängigkeit der Ablenkstellung der Scanspiegelstruktur konfiguriert ist, wobei durch die Scanbewegung eine flächenartige Projektion auf das Objekt projiziert wird. |
