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发明名称
Optical phase measurement method and system
摘要
申请公布号
IL240690(D0)
申请公布日期
2015.10.29
申请号
IL20150240690
申请日期
2015.08.20
申请人
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD.
发明人
分类号
G01B
主分类号
G01B
代理机构
代理人
主权项
地址
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