複合型ｘ線および光学計測のためのモデル構築ならびに解析エンジン

摘要

標本の構造的パラメータは、複合型解析で異なる測定技法によって集められた測定に対する標本の応答のモデルをフィッティングすることによって決定される。少なくとも２つの異なる測定技術に対する標本の応答のモデルは、少なくとも１つの共通幾何学的パラメータを共有する。いくつかの実施形態では、モデル構築および解析エンジンは、ｘ線および光学解析を行い、少なくとも１つの共通パラメータは、解析の間に結合される。測定されたデータに対する応答モデルのフィッティングは、連続して、並行して、または連続および並行解析の組み合わせによって、行われ得る。更なる態様では、応答モデルの構造は、モデルと対応する測定データとの間の適合性の質に基づいて変えられる。例えば、標本の幾何学的モデルは、応答モデルと対応する測定データとの間の適合性に基づいて再編成される。