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<p>Materialwachstumsstufen bei variabler Temperatur und Dünnfilmwachstum Ein Dünnfilm von Material auf einem Substrat wird in einem kontinuierlichen Prozess eines physikalischen Gasphasenabscheidungssystems gebildet, wobei Material während einer Wachstumsstufe bei variabler Temperatur, die eine erste Phase aufweist, die unterhalb einer Temperatur von ungefähr 500°C durchgeführt wird, abgeschieden wird, und wobei Material kontinuierlich abgeschieden wird, während sich die Temperatur für die zweite Phase auf ungefähr 800°C ändert.</p> |
