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发明名称
TEMPLATE FOR SELF ASSEMBLY AND METHOD OF MAKING A SELF ASSEMBLED PATTERN
摘要
Disclosed and claimed herein is a template for directing a pattern in a block copolymer film and the process of making the pattern.
申请公布号
SG11201506995P(A)
申请公布日期
2015.10.29
申请号
SG11201506995P
申请日期
2014.05.09
申请人
AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.À.R.L.
发明人
KIM, JIHOON;WAN, JINGXIU;MIYAZAKI, SHINJI;LIN, GUANYANG;WU, HENGPENG
分类号
G03F7/00
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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