发明名称 TEMPLATE FOR SELF ASSEMBLY AND METHOD OF MAKING A SELF ASSEMBLED PATTERN
摘要 Disclosed and claimed herein is a template for directing a pattern in a block copolymer film and the process of making the pattern.
申请公布号 SG11201506995P(A) 申请公布日期 2015.10.29
申请号 SG11201506995P 申请日期 2014.05.09
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.À.R.L. 发明人 KIM, JIHOON;WAN, JINGXIU;MIYAZAKI, SHINJI;LIN, GUANYANG;WU, HENGPENG
分类号 G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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