マイクロキャリアの製造方法、及び生物学的分析の実施方法

摘要

本発明による方法は、底部層（１６）、上部第１の犠牲層（１７）及び絶縁層（１８）を有するウエハー（１５）を提供すること、第１の構造層の底面上の対応する三次元構造体を規定するために、その上に第１の構造層が堆積される三次元構造体を形成するための第１の犠牲層（１７）を構造化することにある。また、本方法は、第１の構造層の上面の上に第２の三次元構造体を形成することにある。