光子源、計測装置、リソグラフィシステム及びデバイス製造方法

摘要

レーザー駆動光源はレーザー（５２）及び合焦光学系（５４）を備える。これらは、気体（例えばＸｅ）を含むコンテナ（４０）内のプラズマ形成ゾーン上に合焦される放射のビームを生成する。収集光学系（４４）は、出力放射（４６）のビームを形成するためにレーザー放射によって維持されるプラズマ（４２）によって放射される光子を収集する。プラズマは細長い形（Ｌ＞ｄ）を有し、収集光学系は、プラズマから縦方向に放射される光子を収集するように構成される。プラズマの輝度は、プラズマから横方向に放射される放射を収集する源に比べて上昇する。光源を使用する計測装置は、輝度が上昇した結果として、より高い精度及び／又はスループットを達成することができる。後方反射が提供可能である。プラズマを形成するためにレーザー放射の代わりにマイクロ波放射を使用することができる。【選択図】図４