| 摘要 |
본 고안은 광섬유 어레이 블록용 지그에 관한 것이다. 이러한 광섬유 어레이 블록용 지그는 평평한 막대 형상으로 형성되고 단부에 상기 막대보다 높이가 낮게 형성되는 평평한 부분인 제2 안착부를 구비하는 제1 안착부, 상기 제1 안착부의 한 측면에 연결되어 위치하고 상기 막대보다 길이가 짧게 형성되며 상기 막대보다 높이가 높게 형성되는 제1 측면부, 그리고 상기 제1 안착부의 다른 한 측면에 연결되어 위치하고 상기 막대의 길이만큼 형성되며 상기 막대보다 높이가 높게 형성되는 제2 측면부를 구비하는 제1부, 상기 제1 안착부의 상기 한 측면에 상기 제1 측면부의 형성 방향을 따라 위치하고, 상기 제2 안착부에 위치할 광섬유 어레이 블록을 지지하기 위한 판 스프링및 패드를 구비하는 고정부, 그리고 상기 고정부를 관통하며 상기 제1부에 닿도록 위치하고, 외부로부터 인가된 힘에 따라 상기 제1부에 수직하여 닿거나 상기 제1부에 비스듬하게 닿도록 위치하여 상기 고정부의 위치를 조절하는 조절부를 포함한다. 이로 인해, 광섬유 어레이 블록을 효율적으로 고정시킴으로써 웨이퍼 측정장치와 광학적 측정장치의 물리적 간섭을 제거할 수 있다는 효과가 있다. |
