发明名称 フレキシブル基板処理装置
摘要 本発明はフレキシブル基板処理装置を提供する。本発明によれば、処理液を収容する少なくとも一つの槽と、主動ローラと従動ローラとを含み、前記処理液の上方にある巻きローラと、前記槽毎の処理液の中にある位置決めローラと、前記少なくとも一つの巻きローラの半径または直径を検出するように構成された検出ユニットと、前記槽毎の側壁に固定された移動排液部品と、を備え、前記移動排液部品は、前記処理液を排出する移動排液口および排液口位置制御機構を含み、前期移動排液口が前記槽の底壁に対して垂直する方向で移動できる。
申请公布号 JP2015531165(A) 申请公布日期 2015.10.29
申请号 JP20150523367 申请日期 2012.12.03
申请人 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 发明人 周 ▲偉▼峰
分类号 H05K3/06;H05K3/26 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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