化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的收容容器及其用途

摘要

本发明可提供一种化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的收容容器及其用途，上述化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液尤其在使用有机系显影液来形成微细化(例如30nm节点以下)图案的负型图案形成方法中，可减少微粒的产生。一种化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液、以及使用其的图案形成方法、电子元件的制造方法及电子元件，上述化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的碳数22以下的烷基烯烃含量为1ppm以下，且Na、K、Ca、Fe、Cu、Mg、Mn、Li、Al、Cr、Ni及Zn的金属元素浓度均为5ppm以下。

主权项

一种化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的收容容器，其中碳数22以下的烷基烯烃含量为1ppm以下，且Na、K、Ca、Fe、Cu、Mg、Mn、Li、Al、Cr、Ni及Zn的金属元素浓度均为5ppm以下，所述化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的收容容器具有收容化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的收容部，所述有机系处理液为含有选自由酮系溶剂、酯系溶剂、醇系溶剂、酰胺系溶剂及醚系溶剂所组成的组群中的至少一种有机溶剂的有机系显影液，所述收容部的与所述有机系处理液接触的内壁是由全氟树脂所形成。