一种微波散射原理的无源高温压力传感器与制备方法

摘要

本发明涉及压力传感器技术领域，具体为一种基于微波散射测量原理的无源高温压力传感器及其制备方法，解决现有高温等恶劣环境中压力测量方法存在诸多缺陷的问题，包括圆柱状底座及密封膜片，底座内设置凹形圆柱腔，凹形圆柱腔中心设有四个对称分布的内圆柱，内圆柱高度低于凹形圆柱腔上端面，底座上端面、凹形圆柱腔内表面以及内圆柱上表面溅射有金属层；密封膜片上表面丝网溅射有微带天线，下表面整体溅射有接地面，下表面上开设长方形耦合缝隙；底座和密封膜片键合形成微波谐振腔。设计合理，灵敏度高，稳定性好，能在高温高压等恶劣环境下长时间工作，实现了基于微波散射的无线测量的无源高温陶瓷压力传感器。

主权项

一种基于微波散射测量原理的无源高温压力传感器，其特征是包括由下而上设置的圆柱状底座结构（1）及圆柱状密封膜片（2），底座结构内设置开口向上的凹形圆柱腔（3），凹形圆柱腔内间隔设有四个对称凸起的内圆柱（4），内圆柱高度低于凹形圆柱腔上端面，底座结构上端面、凹形圆柱腔内表面以及内圆柱上表面溅射有金属层（5）；密封膜片上表面溅射有金属浆料图案作为微带天线（6），下表面丝网溅射有金属浆料图案作为接地面（7），同时在下表面上预留有作为微带天线和凹形圆柱腔信号耦合的缝隙（8）；圆柱状底座和圆柱状密封膜片键合在一起形成微波谐振腔（9）。