发明名称 一体化连续生产薄膜的装置及制膜方法
摘要 一体化连续生产薄膜的装置及制膜方法,属于制膜技术领域。装置主要包括送液装置、电磁控制阀、镀膜装置、电磁转向阀、储液装置、机械泵、废液装置、传送装置、转轴、加热装置。本装置采用液面自由下降的形式代替传统衬底上提或是镀膜容器下降的形式,整个镀膜装置固定不动,避免了镀膜过程中的机械振动,保证了所镀薄膜的均匀性。不仅提高了生产效率,还提高了原料的使用率,降低了工业生产的成本。
申请公布号 CN103311371B 申请公布日期 2015.10.28
申请号 CN201310239651.1 申请日期 2013.06.17
申请人 北京工业大学 发明人 汪浩;郑慧娟;栗晓辰;孙玉绣;刘晶冰;严辉;朱满康
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人 张慧
主权项 一体化连续生产薄膜的装置,其特征在于,主要包括送液装置(1)、第一电磁控制阀(2)、第二电磁控制阀(4)、镀膜装置、电磁转向阀(7)、储液装置(5)、机械泵(6)、废液装置(8)、传送装置、转轴(10)、加热装置以及连接各部件的管道;镀膜装置包括:镀膜装置上盖(301)、镀膜装置箱体(302)、进液口(304)、循环进液口(305),镀膜装置箱体的两端均有开口,相应的有两个镀膜装置仓门(303),镀膜装置仓门(303)可将两端的开口封闭;传送装置包括:传送带(901)、可固定衬底(903)的夹具(902),夹具(902)固定在传送带(901)上;加热装置包括:烘干箱(1101)、与烘干箱(1101)并排的退火箱(1103)、退火箱(1103)内的载物台(1105),烘干箱两端设有开口,有相应的两个烘干箱仓门(1102),烘干箱仓门可将烘干箱两端的开口封闭,烘干箱(1101)与退火箱(1103)之间开有通口并有相应的退火箱仓门(1104),退火箱仓门可将烘干箱(1101)与退火箱(1103)之间的通口封闭;送液装置的底部与镀膜装置的进液口连接,镀膜装置箱体(302)的底端设有出液口与储液装置(5)连通,储液装置(5)底端设有出液口与机械泵(6)的一端相连,机械泵(6)的另一端通过电磁转向阀(7)与镀膜装置的循环进液口(305)连接形成循环回路,电磁转向阀(7)的第三端与废液装置(8)连接,在镀膜装置和储液装置之间有第二电磁控制阀(4),送液装置(1)与镀膜装置的进液口之间有第一电磁控制阀(2);传送带(901)能够通过镀膜装置箱体两端的开口将固定有可固定衬底(903)的夹具(902)送至镀膜装置箱体(302)内,传送带(901)经转轴(10)导向从烘干箱的开口进入烘干箱内,从烘干箱另一开口出来的传送带(901)直接进入镀膜装置的开口,形成循环的传送带(901)。
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