一种激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法及其装置

摘要

本发明公开了一种激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法及其装置，该方法采用功率大于1KW的激光束连续作用于匀速运动的线状靶材底部，使靶材熔化瞬间产生连续的液滴。装置包括电机、聚焦透镜、真空室和入射光窗；真空室侧壁上设入射光窗；工作时，电机用于控制靶材作匀速运动，聚焦透镜位于入射光窗与靶材之间，靶材底部与透镜的光轴位于同一直线上。靶材的直径≤50um；靶材优选锡丝；锡液滴的直径仅为30～50um。本发明结构简单，易于实现，避免了喷射式液滴发生器实现液滴喷射时要求的高压恒温系统和振动系统，和对喷嘴器材抗腐蚀性的高要求。本发明不仅可作用于熔点较低的金属材料，还可适用于高温难融的金属靶材，扩大了靶材的选择范围。

主权项

一种激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法，该方法采用功率大于1KW的激光束连续作用于匀速运动的线状靶材底部，使靶材熔化瞬间产生连续的液滴，所述靶材为直径小于等于50um的锡丝，所述锡液滴的直径为30um～50um；该方法采用高能量激光束作用于金属锡丝，易于得到微小的液滴，能达到减少靶材溅射出的碎屑对光学元件的损害和污染；还能够始终保持被作用的金属靶材是一直处于更新状态中，不会作用在重复的靶材处，保证转换率的稳定。