一种电容式MEMS传感器检测电路

摘要

本发明公开一种电容式MEMS传感器检测电路。该电路用来检测MEMS的极板位移变化，主要包括：一个产生正弦波的高频振荡电路；两个C^-1/V检测电路；差分放大电路；相移网络；乘法电路；低通滤波电路和放大输出电路。高频振荡电路产生三路同相的正弦波，其中两路提供给两个C^-1/V检测电路，以完成对MEMS的极板位移引起的C^-1变化的检测；差分放大电路用以消除本体电容带来的影响，提高检测的精度；相移网络用于补偿经过C^-1/V电路的相移，确保输入乘法电路的信号相位相同；低通滤波电路滤掉乘法器输出信号的高次谐波，提取出反映MEMS极板位移变化的信号，从而完成对MEMS极板位移变化的检测。

主权项

一种电容式MEMS传感器检测电路，用于输出与MEMS极板间距变化对应的电信号，检测MEMS的极板位移变化，其特征在于包括：高频振荡电路(1)、C^‑1/V电路(2)；差分放大电路(3)、乘法器电路(4)、低通滤波器(5)、放大输出电路(6)和相移网络(7)；其中，高频振荡电路(1)产生三路正弦信号，其中两路正弦信号分别输出至两个C^‑1/V检测电路(2)，两个C^‑1/V检测电路分别输出至差分放大电路(3)的两个输入端子，对两路C^‑1/V信号进行差分放大，以消除MEMS接口处本体电容带来的影响，输出至乘法器电路(4)的一个输入端子；而三路正弦信号的另外一路输出至相移网络电路(7)，经过相移后输出至乘法器的另外一个输入端子；乘法器对差分放大后的C^‑1/V信号进行解调输出至低通滤波电路(5)，经过低通滤波后输出至放大输出电路(6)，经过放大器的缓冲后输出。