METHOD FOR HYDROGENATING SILANE COMPOUND

摘要

본 발명은 수소를 저온 플라즈마 반응 장치에 공급하여, 수소 이온, 전자 및 수소 원자 라디칼을 포함하는 저온 플라즈마를 발생시키는 단계; 상기 저온 플라즈마 반응 장치에 실란 화합물을 포함하는 원료를 공급하는 단계; 및 상기 실란 화합물이 상기 수소 이온, 전자 및 상기 수소 원자 라디칼과 수소화 반응하는 단계를 포함하는 실란 화합물을 수소화 반응시키는 방법을 제공한다.