带有气压平衡装置的光干涉气体检测系统

摘要

本发明提供一种新型光干涉气体检测光路系统及气压平衡装置。利用雅敏光干涉原理设计，通过光源，图像传感器及平面分光镜等若干光学元件将一束光经过平面分光镜的作用分成三束光线，形成两组光干涉条纹，对两组条纹进行处理获得测量结果。新的气压平衡装置为密闭式结构可以满足在使用环境中长时间工作的要求。本发明的目的在于提供一种精确度高、制造简单、压力均衡的光干涉气体检测光路系统及气压平衡装置。

主权项

一种带有气压平衡装置的光干涉气体检测系统，包括光源(4)、平面分光镜(6)、气室(8)、折光直角三棱镜(11)、反射直角三棱镜(5)、图像传感器(1)及若干其他光学元件，其特征在于：还包括闭合的压力平衡装置(7)，其中压力平衡装置(7)与所述气室(8)相连通；在所述光源(4)的光路上、呈45°安装的平面分光镜(6)将光源(4)发射且穿过光缝(3)的光束分成相互平行的光束a、光束b和光束c；所述气室(9)与折光直角三棱镜(11)之间还设置有可调挡板Ⅰ(9)及可调挡板Ⅱ(10)，所述光束a穿过参考气室Ⅰ，所述光束a穿出参考气室Ⅰ后通过可调挡板Ⅰ(9)的遮挡得到光束aˊ，所述光束b和光束aˊ发生干涉；所述光束c穿过采样气室后通过可调挡板Ⅱ(10)的遮挡得到光束cˊ，然后光束cˊ和光束b发生干涉。