一种硅片烘干系统

摘要

本实用新型公开了一种硅片烘干系统，其中，包括：输送机构，输送机构包括输送架、输送带和一对辊轮，一对辊轮可旋转地设置在输送架上，输送带套设在一对辊轮上，一对辊轮驱动输送带带动硅片移动；烘干机构，烘干机构包括箱体、管路和风机，箱体固定设置在输送架上，且位于输送带的上部，管路连接在风机和箱体之间；自动门装置，自动门装置包括进口门、出口门和一对丝杠，进口门设置在箱体前端，出口门设置在箱体后端，一对丝杠分别与进口门和出口门相连接；控制装置，控制装置设置在输送机构的一侧。本实用新型烘烤效果好、能耗低、能够持续工作、自动化程度高。

主权项

一种硅片烘干系统，其特征在于，包括：输送机构(100)，所述输送机构(100)包括输送架(107)、输送带(104)和一对辊轮(105)，一对辊轮(105)可旋转地设置在输送架(107)上，所述输送带(104)套设在一对辊轮(105)上，一对辊轮(105)驱动输送带(104)带动硅片移动；烘干机构(200)，所述烘干机构(200)包括箱体(201)、管路和风机(202)，所述箱体(201)固定设置在输送架(107)上，且位于输送带(104)的上部，所述管路连接在风机(202)和箱体(201)之间；自动门装置(300)，所述自动门装置(300)包括进口门(306)、出口门(307)和一对丝杠(302)，所述进口门(306)设置在箱体(201)前端，所述出口门(307)设置在箱体(201)后端，一对丝杠(302)分别与进口门(306)和出口门(307)相连接；控制装置(400)，所述控制装置(400)设置在输送机构(100)的一侧。