| 发明名称 | 一种各向异性磁阻坡膜合金固定易磁化轴的制备装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种各向异性磁阻坡膜合金固定易磁化轴的制备装置，包括转盘，在转盘上方一侧设置靶枪，靶枪喷射出入射粒子1且该入射粒子落入转盘上通过沉积形成薄膜，本实用新型的磁性薄膜易磁化轴取向的诱导生长方法不需要添加诱导磁场，不需要加热基底，沉积时不受薄膜面积的限制，不需要提供大面积均匀的诱导磁场，有效的解决生长大面积薄膜的一致性问题。 | ||
| 申请公布号 | CN204732294U | 申请公布日期 | 2015.10.28 |
| 申请号 | CN201520472088.7 | 申请日期 | 2015.06.30 |
| 申请人 | 贵州雅光电子科技股份有限公司 | 发明人 | 余涛;杨华;张文旭;彭斌 |
| 分类号 | H01F41/14(2006.01)I;H01F10/00(2006.01)I | 主分类号 | H01F41/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人 | 刘楠 |
| 主权项 | 一种各向异性磁阻坡膜合金固定易磁化轴的制备装置，包括转盘（4），其特征在于：在转盘（4）上方一侧设置靶枪（5），靶枪（5）喷射出入射粒子(1）且该入射粒子（1）落入转盘上通过沉积形成薄膜。 | ||
| 地址 | 550018 贵州省贵阳市新添大道北段270号 | ||