具有静电摆式加速度计的传感器以及控制这种传感器的方法

摘要

一种加速度计传感器，包括具有静止的第一和第二电极以及第三电极的至少一个静电摆式加速度计，所述静止的第一和第二电极被固定到外壳并被连接到激励电路，而所述第三电极由连接到外壳的摆锤承载以便是可移动的且被连接到检测电路。所述激励电路具有连接到开关的输出，所述开关被连接到第一和第二电极，所述开关具有用于选择性地将所述第一电极或第二电极连接到所述激励电路的第一连接位置和第二连接位置。所述检测电路、激励电路、开关和检测电路被连接到控制电路，所述控制电路被布置成使得第一和第二电极由脉冲串按使得将摆锤维持在预设点位置的方式以及按使得确定摆锤要经受的加速度的方式来激励。一种用于控制这样的传感器的方法。

主权项

一种控制传感器的方法，所述传感器包括具有静止的第一和第二电极以及第三电极的至少一个静电摆式加速度计，所述静止的第一和第二电极被固定到外壳并被连接到激励器电路，而所述第三电极由连接到外壳的摆锤承载以便是可移动的且被连接到检测器电路，所述方法包括下述步骤：在两个连续的检测阶段期间，通过检测脉冲以交替方式激励所述静止电极中的第一个电极随后激励另一个电极，以便检测所述可移动的电极和各个静止电极之间的第一电容量和第二电容量；从检测到的电容量中估计所述摆锤的位置；确定对应于在估计的位置和设定点位置之间的差的伺服控制误差；基于所述伺服控制误差来确定指定下一检测脉冲将推还是拉摆锤的命令；根据所述设定点位置和所确定的命令来计算要被测量的加速度；以及在控制阶段期间，通过用于将受伺服控制的误差伺服控制到零的控制脉冲来激励所述静止电极中的一个静止电极或另一个静止电极。