用于弹性体带的安装固定件及使用该安装固定件的方法

摘要

本发明提供了一种包含安装固定件、多个机械紧固件和嵌入工具的套件，使得能够以使弹性体带的内应力释放的方式将弹性体带设置在围绕半导体衬底支撑件的安装槽中，导致弹性体带具有较长的运行寿命。用机械紧固件将该安装固定件固定到衬底支撑件上。将弹性体带围绕安装固定件的外周缘设置，并来回转动以释放该弹性体带的内应力。将该固定件倒转，并使该弹性体带垂直滑动离开该固定件并进入安装槽中。可以使用嵌入工具将该弹性体带全部嵌入到安装槽中。

主权项

一种弹性体带的安装方法，所述弹性带系在用于等离子体处理腔室中支撑半导体衬底的半导体衬底支撑件的一部分的周围，用作保护性边缘密封件，该方法包括：a)围绕安装固定件的垂直延伸部分设置弹性体带，所述垂直延伸部分适于容纳所述弹性体带，并且所述安装固定件包括多个径向延伸部分，所述多个径向延伸部分在与所述半导体衬底支撑件中的安装孔相对应的位置容纳多个机械紧固件；b)使所述弹性体带滑动离开所述安装固定件的所述垂直延伸部分，并进入到所述半导体衬底支撑件中的适于容纳所述弹性体带的安装槽中。