压力控制装置、表面安装机及压力控制方法

摘要

在大范围内稳定地控制向吸嘴供给的气体的压力。具备：第一正压供给通路，以第一正压供给气体；第二正压供给通路，以比第一正压低的第二正压供给气体；吸嘴连接通路，与吸嘴(611)连接；切换阀(34)，选择性地对第一连接状态和第二连接状态进行切换，该第一连接状态是将第一正压供给通路与吸嘴连接通路连接的连接状态，该第二连接状态是将第二正压供给通路与吸嘴连接通路连接的连接状态；及阀控制部，对切换阀(34)的连接状态进行控制，而在从第一正压到第二正压的范围内对供给到吸嘴的气体的压力进行调整。

主权项

一种压力控制装置，在从吸嘴向被处理部件喷出气体而对所述被处理部件实施预定处理的处理机中，对供给到所述吸嘴的所述气体的压力进行控制，所述压力控制装置的特征在于，具备：第一正压供给通路，以第一正压供给所述气体；第二正压供给通路，以比所述第一正压低的第二正压供给所述气体；吸嘴连接通路，与所述吸嘴连接；切换阀，选择性地对第一连接状态和第二连接状态进行切换，所述第一连接状态是将所述第一正压供给通路与所述吸嘴连接通路连接的连接状态，所述第二连接状态是将所述第二正压供给通路与所述吸嘴连接通路连接的连接状态；及阀控制部，对所述切换阀的连接状态进行控制，而在从所述第一正压到所述第二正压的范围内对供给到所述吸嘴的所述气体的压力进行调整。