光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法

摘要

一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法，测量装置包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器。本发明可以实时监测照明光瞳偏振态的动态变化，直接测量得到每一个归一化的斯托克斯参量，或者每一个斯托克斯参量，1/4波片和1/2波片分别仅有2个定位位置，不需要连续旋转，运动控制简单可靠。

主权项

一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置，包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器，其特征在于，所述光刻机偏振照明系统的偏振光束入射到所述反射镜上，被反射到与所述光刻机偏振照明系统光轴垂直的方向，投射到所述针孔板上，通过针孔的光束再经过所述成像物镜和所述中继物镜准直成平行光束，通过所述相位补偿板、所述1/4波片、所述1/2波片，投射到所述沃拉斯顿棱镜上，被所述沃拉斯顿棱镜分成2束光，经过所述聚焦镜投射到所述像传感器上，所述像传感器采用CCD相机。