小孔测量中传感器的自动对中系统

摘要

本发明公开了一种小孔测量中传感器的自动对中系统，包括一个底座，所述的底座上面设有一个支撑座，在所述的支撑座的上面设有一个能在三维坐标X,Y方向上来回滑动的工作台；所述的工作台的中心位置设有一个电容探针，在工作台的X、Y方向各固定两个相互对称的支杆，在相互对称的支杆上面，其中一个支杆设有激光发射装置，另一个支杆上面设有激光接收装置；在工作台的一侧三维坐标Z向设有一个Z向步进电机驱动的丝杠III，在所述的丝杠III的螺母上连接一个滑台，所述的滑台连接一个用于支撑工件的光杆；所述的电容探针用于测量工件上的孔径，且所述的电容探针与信号处理装置相连。该系统具有很高的测量精度，响应快速。

主权项

小孔测量中传感器的自动对中系统，其特征在于：包括一个底座，所述的底座上面设有一个支撑座，在所述的支撑座的上面设有一个能在三维坐标X,Y方向上来回滑动的工作台；所述的工作台的中心位置设有一个电容探针，在工作台的X、Y方向各固定两个相互对称的支杆，且相对称的支杆的中心线与电容探针的中心线在一条直线上，在相互对称的支杆上面，其中一个支杆设有激光发射装置，另一个支杆上面设有激光接收装置；在工作台的一侧三维坐标Z向设有一个Z向步进电机驱动的丝杠III，在所述的丝杠III的螺母上连接一个滑台，所述的滑台连接一个用于支撑工件的光杆；所述的电容探针用于测量工件上的孔径，且所述的电容探针与信号处理装置相连；所述的工作台的驱动系统包括X向步进电机和Y向步进电机，所述的X向步进电机的输出端连接齿轮传动减速系统I，齿轮减速系统I的输出端带动丝杠I转动，丝杠I上的螺母I带动安装于其上的支架系统一起在X向左右移动，在所述的支架系统上设有能沿其前后运动的工作台；所述的Y向步进电机输出端连接齿轮传动减速系统II，齿轮减速系统II的输出端带动丝杠II转动，丝杠II上的螺母II带动安装于其上的工作台一起在Y向前后移动；所述的Z向步进电机的输出端连接齿轮传动减速系统III，齿轮减速系统III的输出端带动丝杠III转动，丝杠III上的螺母III带动与其连接的滑台在Z方向运动，所述的滑台设于一个与丝杠III平行的导杆上，且滑台能沿着导杆来回滑动。