发明名称 | 一种石墨沉积装置及其制备方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种石墨沉积装置及其制备方法,在除石墨模具之外的石墨系统表面涂覆石墨乳溶液,形成石墨乳层。与现有技术相比,本发明在石墨系统表面涂覆石墨乳溶液形成石墨乳薄层,高温状态下,由于石墨乳的热膨胀系数大于石墨件的膨胀系数,两者可很好的剥离,从而达到使沉积在石墨系统表面的热解氮化硼材料易剥离的效果,减小了对石墨系统的损伤,且该处理方法操作简单、成本较低。 | ||
申请公布号 | CN105002477A | 申请公布日期 | 2015.10.28 |
申请号 | CN201510541467.1 | 申请日期 | 2015.08.27 |
申请人 | 广东先导稀材股份有限公司 | 发明人 | 胡丹;朱刘;胡智向 |
分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 赵青朵 |
主权项 | 一种石墨沉积装置,其特征在于,除石墨模具之外的石墨系统表面覆盖有一层石墨乳层。 | ||
地址 | 511517 广东省清远市清新县禾云镇工业区(鱼坝公路旁)广东先导稀材股份有限公司 |