发明名称 一种石墨沉积装置及其制备方法
摘要 本发明提供了一种石墨沉积装置及其制备方法,在除石墨模具之外的石墨系统表面涂覆石墨乳溶液,形成石墨乳层。与现有技术相比,本发明在石墨系统表面涂覆石墨乳溶液形成石墨乳薄层,高温状态下,由于石墨乳的热膨胀系数大于石墨件的膨胀系数,两者可很好的剥离,从而达到使沉积在石墨系统表面的热解氮化硼材料易剥离的效果,减小了对石墨系统的损伤,且该处理方法操作简单、成本较低。
申请公布号 CN105002477A 申请公布日期 2015.10.28
申请号 CN201510541467.1 申请日期 2015.08.27
申请人 广东先导稀材股份有限公司 发明人 胡丹;朱刘;胡智向
分类号 C23C16/44(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I 主分类号 C23C16/44(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 赵青朵
主权项 一种石墨沉积装置,其特征在于,除石墨模具之外的石墨系统表面覆盖有一层石墨乳层。
地址 511517 广东省清远市清新县禾云镇工业区(鱼坝公路旁)广东先导稀材股份有限公司