小型制造装置以及使用该小型制造装置的制造系统

摘要

一种易于使前室在对处理基板实施的处理的种类不同的多个制造装置之间通用的制造系统。根据本发明的制造系统，能够使该制造装置的开发成本、制造成本廉价化。对小型制造装置的处理室和前室个别地设置控制部。当处理室控制部输出了搬入请求信号时，前室控制部将处理基板搬入到处理室，并输出搬入通知信号。处理室控制部当被输入搬入通知信号时进行处理基板的处理，在处理结束后输出搬出请求信号。前室控制部当被输入搬出请求信号时开始搬出处理基板，当从处理室搬出了该处理基板时，输出搬出通知信号。处理室当被输入搬出通知信号时开始下一次处理的准备。

主权项

一种小型制造装置，其特征在于，具备：处理室，其对处理基板实施期望的处理；前室，其使用设置于内部的搬送机构，与该处理室之间进行上述处理基板的搬入和搬出；处理室用控制部，其设置于上述处理室以控制该处理室对上述处理基板的处理；以及前室用控制部，其设置于上述前室以控制上述处理基板在上述处理室与该前室之间的搬入和搬出，其中，当上述处理的准备结束时，上述处理室用控制部发送用于请求上述前室用控制部将该处理基板从上述前室搬入到上述处理室的搬入请求信号，当从上述前室用控制部接收到表示上述处理基板的上述搬入已结束的搬入通知信号时，上述处理室用控制部开始上述处理，当该处理结束时，上述处理室用控制部发送用于请求上述前室用控制部将上述处理基板从上述处理室搬出到上述前室的搬出请求信号，当从上述前室用控制部接收到表示上述处理基板的上述搬出已结束的搬出通知信号时，上述处理室用控制部开始上述处理的准备，当从上述处理室用控制部接收到上述搬入请求信号时，上述前室用控制部开始上述处理基板的搬入动作，当上述处理基板的搬入动作结束时，上述前室用控制部将上述搬入通知信号发送到上述处理室用控制部，当从该处理室用控制部接收到上述搬出请求信号时，上述前室用控制部开始上述处理基板的搬出动作，当从上述处理室搬出了该处理基板时，上述前室用控制部将上述搬出通知信号发送到上述处理室用控制部。