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기재 상에 하기의 피막 Q와 피막 R이 각각 1층 이상 교대로 적층된 적층 피막. [피막 Q] 조성식이 TiBCN이고, 각 원소의 원자비가 0.2≤a≤0.7, 0≤b≤0.35 및 0≤c≤0.35를 만족시키는 피막; 조성식이 SiCN이고, 각 원소의 원자비가 0.2≤d≤0.50 및 0≤e≤0.3을 만족시키는 피막; 및 조성식이 BCN이고, 각 원소의 원자비가 0.03≤f≤0.25 및 0≤g≤0.5를 만족시키는 피막;으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 피막. [피막 R] 조성식이 L(BCN)(상기 L은, W, Mo 및 V로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 원소)이고, 각 원소의 원자비가 0≤x≤0.15 및 0≤y≤0.5를 만족시키는 피막. |
