互连线电迁移寿命的确定方法

摘要

本发明提供互连线电迁移寿命的确定方法，包括：选择至少三种不同线宽的互连线，所述至少三种不同线宽的互连线均在同一确定工艺条件下形成；测试每种线宽互连线不同结构的失效时间，利用统计分布得到每种线宽互连线相应的平均失效时间；根据black方程，得到确定温度、确定电流密度时，每种线宽互连线的归一化寿命；利用二次多项式，拟合得到互连线归一化寿命与线宽的二次函数关系式；通过所述二次函数关系式对应的曲线，得到最坏情况下的电迁移寿命，从而得到该最坏情况下的电迁移寿命对应的线宽。采用此发明方法可以精确评估该互连线最坏情况下的电迁移寿命，并为开发金属工艺提供重要信息。

主权项

互连线电迁移寿命的确定方法，其特征在于，包括如下步骤：选择至少三种不同线宽的互连线，所述至少三种不同线宽的互连线均在同一确定工艺条件下形成；测试每种线宽互连线不同结构的失效时间，利用统计分布得到每种线宽互连线相应的平均失效时间；根据black方程，得到确定温度、确定电流密度时，每种线宽互连线的归一化寿命；利用二次多项式，拟合得到互连线归一化寿命与线宽的二次函数关系式；通过所述二次函数关系式对应的曲线，得到最坏情况下的电迁移寿命，从而得到该最坏情况下的电迁移寿命对应的线宽。