| 发明名称 | 一种可加热衬底的承载装置 | ||
| 摘要 | 一种可加热衬底的承载装置，包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓。螺栓和顶丝设置在L型支架上端。锁紧螺栓固定在L型支架上。本发明结构紧凑合理，加热盘及PIN机构通过螺栓安装在L型支架上，L型支架安装腔体下方。在进行设备调试时可以先松开锁紧螺栓，调整顶丝保证加热盘及升降支撑机构处于水平,然后锁紧螺栓以满足使用要求。 | ||
| 申请公布号 | CN105003801A | 申请公布日期 | 2015.10.28 |
| 申请号 | CN201510412846.0 | 申请日期 | 2015.07.14 |
| 申请人 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 发明人 | 刘亿军;续震 |
| 分类号 | F16M13/00(2006.01)I | 主分类号 | F16M13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人 | 李绪岩 |
| 主权项 | 一种可加热衬底的承载装置，其特征在于：包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓；螺栓和顶丝设置在L型支架上端，锁紧螺栓固定在L型支架上。 | ||
| 地址 | 110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层 | ||