发明名称 一种直拉单晶炉热场用埚杆
摘要 本实用新型公开了一种直拉单晶炉热场用埚杆,包括石墨材质的托盘,在托盘的底部连接石墨材质的支撑柱,支撑柱与托盘同轴心,托盘与支撑柱为分体结构,托盘与支撑柱螺纹连接;在支撑柱的内部设有支撑柱保温碳毡腔室,支撑柱保温碳毡腔室内设有形体与支撑柱保温碳毡腔室相适配的支撑柱保温碳毡块;在托盘的径向设有第一托盘保温碳毡腔室,在第一托盘保温碳毡腔室的两侧对称设有第二托盘保温碳毡腔室,第一托盘保温碳毡腔室和第二托盘保温碳毡腔室内均设有与各自腔室相适配的托盘保温碳毡块。本实用新型具有结构合理、节能降耗等特点。
申请公布号 CN204727987U 申请公布日期 2015.10.28
申请号 CN201520397335.1 申请日期 2015.06.10
申请人 河北宁晋松宫半导体有限公司 发明人 闫广宁;张浩强;张鹏;王怡然;李永峰;王东;赵飞
分类号 C30B15/30(2006.01)I 主分类号 C30B15/30(2006.01)I
代理机构 河北东尚律师事务所 13124 代理人 王文庆
主权项 一种直拉单晶炉热场用埚杆,包括石墨材质的托盘(1),在所述托盘(1)的底部连接石墨材质的支撑柱(2),所述支撑柱(2)与所述托盘(1)同轴心,其特征在于:所述托盘(1)与所述支撑柱(2)为分体结构,所述托盘(1)与所述支撑柱(2)螺纹连接;在所述支撑柱(2)的内部设有支撑柱保温碳毡腔室(3),所述支撑柱保温碳毡腔室(3)开口于所述支撑柱(2)的上端面,所述支撑柱保温碳毡腔室(3)上部为与所述支撑柱(2)同轴心的圆柱形腔室,所述圆柱形腔室的直径为所述支撑柱(2)中间部分直径的三分之一,所述圆柱形腔室的高度为所述支撑柱(2)高度的三分之一,所述圆柱形腔室下端为截头圆锥体形腔室,所述截头圆锥体形腔室与所述圆柱形腔室同轴心,且其上底面直径与圆柱形腔室直径相同,其下底面直径为所述圆柱形腔室下底面直径的三分之一,其高度为所述圆柱形腔室高度的四分之一;所述支撑柱保温碳毡腔室(3)内设有形体与支撑柱保温碳毡腔室(3)相适配的支撑柱保温碳毡块(4);在所述托盘(1)的径向设有第一托盘保温碳毡腔室(5),所述第一托盘保温碳毡腔室(5)贯通于所述托盘(1),所述第一托盘保温碳毡腔室(5)为圆柱形腔室,所述第一托盘保温碳毡腔室(5)的轴心位于所述托盘(1)高度的三分之一处,且与所述托盘(1)的直径重合,所述第一托盘保温碳毡腔室(5)的直径为所述托盘(1)高度的三分之一,在所述第一托盘保温碳毡腔室(5)的两侧对称设有第二托盘保温碳毡腔室(6),所述第一托盘保温碳毡腔室(5)和所述两个第二托盘保温碳毡腔室(6)直径相同,且在同一平面上,所述第一托盘保温碳毡腔室(5)和所述第二托盘保温碳毡腔室(6)之间的距离为所述托盘(1)半径的五分之四,所述两个第二托盘保温碳毡腔室(6)贯通于所述托盘(1),所述第一托盘保温碳毡腔室(5)和所述第二托盘保温碳毡腔室(6)内均设有与各自腔室相适配的托盘保温碳毡块。
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