太阳电池器件的背电极及其制备方法以及太阳电池器件

摘要

本发明涉及一种太阳电池器件的背电极及其制备方法以及太阳电池器件。该太阳电池的背电极包括金属导电层和层叠于所述金属导电层上的氧化铝钝化层，所述氧化铝钝化层上具有多个纳米尺寸的孔洞。金属导电层作为太阳电池器件的“+”极，收集并传输电流。氧化铝钝化层抑制表面载流子复合，多个纳米孔洞形成电流通道，收集和导通电流，这种复合结构的背电极既发挥了氧化铝钝化层的钝化作用，又不妨碍光生电流的通过，达到降低界面缺陷态密度，降低光生载流子的表面复合速率，提高太阳电池器件的光电转化效率的效果。

主权项

一种太阳电池器件的背电极，其特征在于，包括金属导电层和层叠于所述金属导电层上的氧化铝钝化层，所述氧化铝钝化层上具有多个纳米尺寸的孔洞；多个所述纳米尺寸的孔洞呈周期阵列排布；每个所述纳米尺寸的孔洞的形状为圆柱形，该圆柱形的孔径为d，相邻两个所述纳米尺寸的孔洞的横截面的几何中心的距离为L，太阳电池器件的光吸收层的厚度为t，载流子在所述光吸收层的扩散长度为k，所述L、t和k满足：$(\frac{\sqrt{2}}{2}L-\frac{d}{2})\le \sqrt{k^2-t^2}.$