具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备

摘要

本发明涉及一种具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备。该设备设置有至少一个制备含有掺杂物质涂层的装置，通过该涂层制备装置可以在被扩散物表面PN结区域和SE区域分别制备出密度或浓度或组分不同的含有掺杂物质的涂层，表面附着了上述涂层的被扩散物，始终保持其扩散面朝上，在水平辊道的传输下水平移动，依次连续通过高温处理装置，不间断、一次性完成PN结和SE的掺杂。该设备由上片区、含有掺杂物质的涂层区、预热烘干区、高温扩散区、冷却区和出片区六个基本单元组成。该设备不仅有效解决了PN结和选择发射区掺杂一次完成、连续化生产的问题，而且解决了连续化扩散设备炉内环境气氛的洁净度问题。

主权项

一种具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：在所述扩散设备中，设置有至少一个制备含有掺杂物质涂层的涂层制备装置，通过该涂层制备装置可以在被扩散物表面PN结区域和SE区域分别制备出密度或浓度或组分不同的含有掺杂物质的涂层，表面附着了上述涂层的被扩散物，始终保持其扩散面朝上，在水平辊道的传输下水平移动，依次连续通过高温处理装置，不间断、一次性完成PN结和SE的掺杂；该设备由上片区、含有掺杂物质的涂层区、预热烘干区、高温扩散区、冷却区和出片区六个基本单元组成；所述涂层制备装置，为丝网印刷装置或雾化喷涂装置或激光喷涂装置或旋涂装置；所述含有掺杂物质的涂层区为一个或两个，其中，涂层区为一个时，通过丝网印刷装置或激光喷涂装置中的任意一种涂层制备装置在被扩散物表面PN结区域和SE区域一次分别制备出密度或浓度不同的含有掺杂物质的涂层；涂层区为两个时，前一涂层区采用丝网印刷装置或激光喷涂装置制备含有掺杂物质的SE图形，然后在后一涂层区通过丝网印刷装置、雾化喷涂装置、激光喷涂装置或旋涂装置中的任意一种涂层制备装置制备PN结涂层，二步操作在被扩散物表面PN结区域和SE区域分别制备出密度或浓度或组分不同的含有掺杂物质的涂层。