PN结和SE掺杂一次完成的扩散方法

摘要

本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种PN结和SE掺杂一次完成的扩散方法。该方法是在被扩散物的扩散面上形成一层含有掺杂物质的涂层，在PN结区域和SE区域形成的涂层分别具有不同的密度或浓度或组分；其中，SE区域涂层密度或浓度高于PN结区域涂层密度或浓度；或者，SE区域和PN结区域的涂层其掺杂物质的组分不同；将表面附着了上述涂层的被扩散物在一组可以沿轴线方向往复转动的水平辊道传输下进入高温区进行加热处理，一次完成PN结和SE的掺杂。该方法不但有效解决PN结和SE掺杂一次完成的问题，实现PN结和SE掺杂工艺的连续化生产，而且还解决连续化生产过程中扩散环境气氛的洁净度问题。

主权项

一种PN结和SE掺杂一次完成的扩散方法，其特征在于：在被扩散物的扩散面上形成一层含有掺杂物质的涂层，在PN结区域和SE区域形成的涂层分别具有不同的密度或浓度或组分；其中，SE区域涂层密度或浓度高于PN结区域涂层密度或浓度；或者，SE区域和PN结区域的涂层其掺杂物质的组分不同；将表面附着了上述涂层的被扩散物在高温下进行处理，一次完成PN结和SE的掺杂；通过丝网印刷或激光喷涂工艺在SE区域和PN结区域一次制备出密度或浓度不同的含有掺杂物质的涂层，然后将其在高温下进行处理，一次完成PN结和SE的掺杂。