用于表面的非接触轮廓分析的传感器

摘要

本发明涉及一种用于采用由压电材料制成的振荡悬臂(12)对表面进行扫描的传感器，该传感器适于横梁的自由端的横向振荡，在横向方向固定导电探针针尖(14)，其中横梁具有第一偏转电极(26A、26B)和相反定相的第二电极(28A、28B、28C)以采集在所述偏转电极的空间内分离的电荷(34、36)。根据本发明，除了所述偏转电极(26A、26B、28A、28B、28C)之外，该悬臂(12)还设有至少一个提供与所述针尖(14)的电接触的电极(30)，其中所述附加电极位于偏转横梁上的区域中，其中由横梁偏转所引起的应变所造成的表面电荷密度(34、36)小于设置偏转电极的区域中的表面电荷密度。

主权项

一种传感器，用于使用由压电材料制成的振荡横梁(12)对表面进行非接触扫描，该传感器针对所述横梁的自由端的横向振动而设计，其中导电针尖(14)在所述横梁的所述自由端处沿横向方向延伸，其中所述横梁设有第一偏转电极(26A、26B)和相对于所述第一偏转电极相反极化的第二偏转电极(28A、28B、28C)，以便采集由偏转的横梁产生的表面电荷(34、36)，其中所述横梁(12)设有至少一个电连接所述针尖(14)的附加电极(30)，其中，所述附加电极位于一区域中，在该区域中由所述横梁的偏转生成的表面电荷(34、36)的密度低于所述偏转电极附近的密度。