直拉单晶直径测量方法

摘要

一种直拉单晶直径测量方法，包括利用一个CCD摄像头获取单晶生长图像以及对单晶生长图像进行处理，CCD摄像头的分辨率高于200万像素，对单晶生长图像进行处理包括步骤：提取单晶生长固液界面处的晶体轮廓；将晶体轮廓进行拟合，获得椭圆边界；将椭圆边界校正成圆形边界；以及获得单晶直径。本发明直拉单晶直径测量方法测定结果精度高，且操作简单，无噪音干扰。本发明可用于测量引晶、放肩、转肩及等径过程的单晶直径的测量。

主权项

一种直拉单晶直径测量方法，包括利用一个CCD摄像头获取单晶生长图像以及对所述单晶生长图像进行处理，其特征在于，所述CCD摄像头的分辨率高于200万像素，对所述单晶生长图像进行处理包括步骤：提取单晶生长固液界面处的晶体轮廓，所述晶体轮廓包括内缘和外缘；对所述晶体轮廓的外缘进行拟合获得椭圆边界，并对所述晶体轮廓的内缘进行拟合获得内参考边界；将所述基于外缘的椭圆边界校正成圆形边界、并将所述基于内缘的内参考边界校正成内边圆形边界，然后根据圆形边界和内边圆形边界的变化量获得单晶直径生长趋势；以及获得单晶直径。