发明名称 | 利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法 | ||
摘要 | 本发明属于电子束光刻技术领域,具体为一种利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法。本发明步骤包括:首先利用Beamer软件形成曝光文件,而后在硅片表面旋涂上一层光刻胶,利用电子束光刻,经过显影后得到微纳尺寸的微型照片。本发明利用电子束光刻曝光光刻胶,显影后不同厚度光刻胶具有不同的黑白灰度,从而生成微纳尺寸的微型照片。本发明方法对微纳图形结构的形貌可控,生成的微型照片具有纳米级别的分辨率,并可实现大面积制造。 | ||
申请公布号 | CN105000531A | 申请公布日期 | 2015.10.28 |
申请号 | CN201510322327.5 | 申请日期 | 2015.06.13 |
申请人 | 复旦大学 | 发明人 | 陈宜方;徐晨 |
分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人 | 陆飞;盛志范 |
主权项 | 利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法,其特征在于具体步骤如下:(1)利用Beamer软件形成曝光文件;(2)清洗硅衬底,在衬底上旋涂2‑5微米厚的PMMA胶,并烘烤使之硬化,烘烤温度为170‑190摄氏度,时间为30‑60分钟;(3)使用电子束光刻机对于设计好的图形进行曝光;(4)在22‑24摄氏度的1:1‑1:3的MIBK与IPA溶液中显影1‑5分钟,随后立刻在IPA溶液中冲洗30‑60秒。 | ||
地址 | 200433 上海市杨浦区邯郸路220号 |