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<p>본 발명은 기재의 표면에 다이아몬드 라이크 카본 피막을 피복한 피복 공구이며, 상기 다이아몬드 라이크 카본 피막의 나노인덴테이션 경도는 50㎬ 이상 100㎬ 이하이며, 상기 다이아몬드 라이크 카본 피막은 기재측으로부터 두께 방향을 향해 수소 원자 및 질소 원자의 함유량이 감소하고 있고, 상기 다이아몬드 라이크 카본 피막의 표면은 수소 원자의 함유량이 0.5원자％ 이하, 질소 원자의 함유량이 2원자％ 이하인 피복 공구를 제공한다.</p> |
