一种硅片缓冲装载装置

摘要

本发明公开了一种硅片缓冲装载装置，属于硅片样品光学测量技术领域。该装置包括硅片样品台和吸盘，吸盘与硅片样品台相配合，硅片样品台具有底座，还包括缓冲机构，缓冲机构连接于底座，缓冲机构包括接触平台和升降机构，接触平台固定连接于升降机构，接触平台在升降机构的带动下升降。该装置在对硅片样品进行装载时，机械手与硅片样品台能够实现任意装载，并且，装载过程简单、装载稳定。

主权项

一种硅片缓冲装载装置，包括硅片样品台和吸盘，所述吸盘与所述硅片样品台相配合，所述硅片样品台具有底座，还包括缓冲机构，所述缓冲机构连接于所述底座，所述缓冲机构包括接触平台和升降机构，所述接触平台固定连接于所述升降机构，所述接触平台在所述升降机构的带动下升降；其特征在于，所述缓冲机构还包括三向调节机构，所述升降机构连接于所述三向调节机构，所述缓冲机构通过所述三向调节机构连接于所述底座；所述三向调节机构包括第Ⅰ配件和第Ⅱ配件，所述第Ⅰ配件具有底面和第Ⅰ侧面，所述第Ⅱ配件具有顶面和第Ⅱ侧面，所述底面上设有第Ⅰ种长圆孔，所述第Ⅰ种长圆孔的长度方向为x方向，所述底面通过所述第Ⅰ种长圆孔连接于所述底座，所述第Ⅰ侧面和/或第Ⅱ侧面上设有第Ⅱ种长圆孔，所述第Ⅱ种长圆孔的长度方向为y方向，所述第Ⅰ配件和第Ⅱ配件通过所述第Ⅱ种长圆孔连接，所述顶面上设有第Ⅲ种长圆孔，所述第Ⅲ种长圆孔的长度方向为z方向，所述顶面通过所述第Ⅲ种长圆孔连接于所述升降机构，其中，x、y、z为空间的三个方向，y为上下方向。