发明名称 二成分エッチング
摘要 <p>The object of the present invention is a new inkjet printable etching composition comprising an etchant, which is activated by a second component. Thus, a further object is the use of this new composition in a process for the etching of surfaces semiconductor devices or surfaces of solar cell devices.</p>
申请公布号 JP5801798(B2) 申请公布日期 2015.10.28
申请号 JP20120513486 申请日期 2010.05.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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