发明名称 半导体器件的制造方法、半导体器件及相机组件
摘要 本发明提供半导体器件的制造方法、半导体器件及相机组件。根据实施方式,在第1基板的表面、背面及侧面上,形成绝缘膜。接着,除去第1基板的表面侧的绝缘膜,在除去了绝缘膜的第1基板的表面上形成粘接层。然后,间隔着粘接层,将第1基板和第2基板贴合。
申请公布号 CN102403324B 申请公布日期 2015.10.28
申请号 CN201110251738.1 申请日期 2011.08.29
申请人 株式会社东芝 发明人 白野贵士;谷田一真;山口直子;本乡悟史;松村刚
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 陈萍
主权项 一种半导体器件的制造方法,其特征在于,在第1基板的表面、背面及侧面上形成绝缘膜;除去上述第1基板的表面侧的上述绝缘膜;在上述第1基板的表面侧形成粘接层;经由上述粘接层,将上述第1基板和第2基板贴合。
地址 日本东京都