单边存取器件

摘要

本发明公开了一种单边存取器件，包含有一有源鳍状结构，其包含一源极接触区与一漏极接触区，彼此由一绝缘区域所隔开；一第一沟渠绝缘结构，设在所述有源鳍状结构的一侧，且所述第一沟渠绝缘结构与所述绝缘区域交叉；一侧壁栅极，设在与所述第一沟渠绝缘结构相对的所述有源鳍状结构的另一侧，且位在所述绝缘区域之下，所述第一沟渠绝缘结构与所述侧壁栅极将所述主动鳍状结构夹在中间，其中所述侧壁栅极具有多个指状电极，啮合所述有源鳍状结构；以及一栅极介电层，设在所述侧壁栅极与所述有源鳍状结构之间。

主权项

一种单边存取器件，其特征在于，包含：有源鳍状结构，包含一源极接触区与一漏极接触区，彼此由一第一绝缘区域所隔开，各所述有源鳍状结构彼此由一第二绝缘区域所隔开；第一沟渠绝缘结构，设在所述有源鳍状结构的一侧，且所述第一沟渠绝缘结构与所述第一绝缘区域交叉；侧壁栅极，设在与所述第一沟渠绝缘结构相对的所述有源鳍状结构的另一侧，且所述第一沟渠绝缘结构与所述侧壁栅极将所述有源鳍状结构夹在中间，其中每一所述侧壁栅极具有位于中间的一第一指状电极以及位于两侧的两个第二指状电极，所述第一指状电极伸入所述第一绝缘区域之中，两所述第二指状电极分别伸入两所述第二绝缘区域之中，以啮合所述有源鳍状结构；以及栅极介电层，设在所述侧壁栅极与所述有源鳍状结构之间。