使用选择性接地且可移动的处理配环处理基板的方法与装置

摘要

本文提供用于处理基板的方法与装置的实施方式。在一些实施方式中，一种用于基板处理腔室的处理配件可包括：环，所述环具有主体及从主体径向向内延伸的唇部，其中所述主体具有形成在主体的底部内的第一环形通道；环形导电屏蔽件，所述环形导电屏蔽件具有下方向内延伸突出部分，所述下方向内延伸突出部分终止于向上延伸部分，所述向上延伸部分被配置以与环的第一环形通道接合；及导电构件，当环设置在导电屏蔽件上时，所述导电构件将环电气耦接至导电屏蔽件。

主权项

一种用于基板处理腔室的处理配件，所述处理配件包括：环，所述环具有主体及从所述主体径向向内延伸的唇部，其中所述主体具有形成在所述主体的底部内的第一通道；环形导电屏蔽件，所述环形导电屏蔽件具有下方向内延伸突出部分，所述下方向内延伸突出部分终止于向上延伸部分，所述向上延伸部分被配置以与所述环的所述第一通道接合；以及导电构件，当所述环被设置在所述导电屏蔽件上时，所述导电构件将所述环电气耦接至所述导电屏蔽件。