发明名称 化学镀铜溶液
摘要 本发明涉及化学镀铜水性溶液,其包含:-铜离子源,-还原剂或还原剂源,和-作为络合剂的组合物,所述组合物包含i)N,N,N’,N’-四(2-羟基丙基)乙二胺或其盐,和ii)N’-(2-羟基乙基)-乙二胺-N,N,N’-三乙酸或其盐,以及涉及利用所述溶液进行化学镀铜的方法和所述溶液用于基底镀层的用途。
申请公布号 CN105008587A 申请公布日期 2015.10.28
申请号 CN201480011888.7 申请日期 2014.03.25
申请人 埃托特克德国有限公司 发明人 弗兰克·布鲁宁;比吉特·贝克;埃莉萨·朗哈默;约翰尼斯·埃茨科恩;米夏埃尔·默斯奇基;约尔格·舒尔策;克里斯蒂安·洛温斯基
分类号 C23C18/40(2006.01)I 主分类号 C23C18/40(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 王潜;郭国清
主权项 一种化学镀铜水性溶液,其包含:‑铜离子源,‑还原剂或还原剂源,和‑作为络合剂的组合物,所述组合物包含i)N,N,N’,N’‑四(2‑羟基丙基)乙二胺或其盐,和ii)N’‑(2‑羟基乙基)‑乙二胺‑N,N,N’‑三乙酸或其盐。
地址 德国柏林