| 摘要 |
<p>디스펙클 디바이스(despeckle device)를 이용하여 레이저 조명 시스템에서의 스펙클을 감소시키는 방법 및 장치가 개시되어 있다. 개시된 디스펙클 디바이스는 레이저 조명 시스템에서 가간섭 레이저로부터 방출되는 광에 실질적으로 반파장의 홀수 배의 지연을 주는 광학 리타더를 구비한다. 유사 반파장 광학 리타더는 실질적으로 일정한 지연성과 공간적으로 변하는 느린축을 가진다. 공간적으로 변하는 느린축은 광빔에 위상 마스크를 주는데, 이러한 위상 마스크는 검출기상의 해상도 스폿에 서브 해상도의 광학적 위상 변조를 준다. 유사 반파장 광학 리타더는, 기계적 또는 전기적으로 구동되어 검출기의 인티그레이션 시간 내에 서브 해상도의 광학적 위상 변조를 변화시킨다.</p> |
