JIG FOR PEELING PELLICLE AND PEELING METHOD

摘要

본 발명은 포토마스크에 접착된 펠리클을 용이하고 안전하게 박리할 수 있는 간편한 지그 및 박리 방법을 제공한다. 포토마스크에 대한 고정 부재와 펠리클에 대한 점착층을 구비한 펠리클 박리용 지그에 의해 포토마스크와 펠리클의 서로의 위치 관계를 고정하고, 고정된 상태에서 마스크 점착층을 인출하여 제거한다.