| 摘要 |
<p>적어도 도전체층, 및 산소 원자, 탄소 원자 및 규소 원자를 포함하는 재료로부터 구성되는 가스 배리어층을 포함하는 적층체가 개시되어 있다. 적층체는, 가스 배리어층의 산소 원자의 존재 비율이 가스 배리어층의 표면으로부터 깊이 방향으로 점차적으로 감소하는 한편, 탄소 원자의 존재 비율이 점차적으로 증가하는 것을 특징으로 한다. 또한, 적층체의 제조 방법, 적층체로 구성되는 전자 디바이스 부재, 및 전자 디바이스 부재를 포함하는 전자 디바이스가 개시되어 있다. 적층체는 우수한 가스 배리어성 및 우수한 층간 밀착성을 나타내는 한편, 표면 평활성이 높은 도전체층을 포함한다. 적층체는 가요성이 있고 경량이기 때문에, 적층체는 유기 EL 디스플레이, 태양 전지 등의 전자 디바이스 부재로 사용하기에 적합하다. 또한, 적층체는 롤-투-롤 대량 생산 공정에 의해 제조될 수 있기 때문에, 적층체는 저 비용으로 제조될 수도 있다.</p> |
